CARS in situ diagnostics in MOVPE: The thermal decomposition of AsH3 and PH3

Lückerath, R.; Tommack, P.; Hertling, A.; Koß, Hans-Jürgen; Balk, P.; Jensen, K. F.; Richter, W.

Amsterdam : North-Holland Publ. Co. (1988)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of crystal growth
Band: 93
Seite(n)/Artikel-Nr.: 151-151